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    氬氣

    產品介紹

    純度:99.9999% 和 99.999% 

    閥門規格:CGA580/CGA350

    主要作用:用作標準氣、零點氣、平衡氣;用于半導體器件制備工藝中晶體生長、熱氧化、外延、擴散、氮化、噴射、等離子干刻、載流、退火、搭接、燒結等工序;特種混合氣與工業混合氣也使用氫

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