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    二氯氫硅

    產品介紹

    產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序

    產品中文名:二氯氫硅

    產品英文名:Dichlorosilane

    化學式:SiH2Cl2

    CAS號:4109-96-0

    UN 號:2189

    純度:99.99% 和99.999%

    閥門型號:CGA678


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