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    三氯氫硅

    產品介紹

    產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序

    產品中文名:三氯氫硅

    產品英文名:Trichlorosilane

    化學式:SiHCl3

    CAS號:10025-78-2

    UN 號:1295

    純度: 99.999%

    閥門型號:1/4VCR/1/2VCR


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