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    四氟化碳

    產品介紹

    產品主要作用:用于等離子干刻工序;在很低溫度下作為低溫流體用;也用于中性及惰性氣體

    產品中文名:四氟化碳

    產品英文名:Tetrafluoromethane

    化學式:CF4

    CAS號:75-73-0

    UN 號:1982

    純度:99.999%

    閥門型號:CGA580/DISS716


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